體硅太陽(yáng)能電池選擇性擴(kuò)散(PSG Screen Printing),激光摻雜機(jī)是一款在太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中用來(lái)作選擇性重?fù)教岣咛?yáng)能電池效率的專用激光設(shè)備。利用激光將電池片表面磷源作選擇性摻雜形成重?fù)诫s區(qū)以降低歐姆接觸,結(jié)合前道工序的輕摻雜發(fā)射結(jié)和后道工序的電鍍或絲印工藝形成柵極以達(dá)到提高電池效率和帶負(fù)載能力的功效。
本設(shè)備將激光技術(shù)運(yùn)用到太陽(yáng)能硅片表面非接觸式激光加工技術(shù),選擇一種特殊的新型激光器,配合適當(dāng)光學(xué)系統(tǒng),在硅表面形成一層刻痕,經(jīng)過(guò)清洗之后對(duì)刻痕區(qū)域進(jìn)行摻雜,
{zh1}用電鍍或絲印的方式在槽內(nèi)形成電極,以起到前表面電接觸柵極的作用。用這種方法制備的電極度很窄具有很低的表面覆蓋率,而且還具有高的縱深比,能夠更好地吸收載流子,
可以提高太陽(yáng)電池的開路電壓Voc,短路電流Isc和填充因子F.F.,從而提高光一電轉(zhuǎn)換效率。
Specification:
破片自動(dòng)檢測(cè),碎片率<1‰
自動(dòng)上下料(可選)
激光功率自動(dòng)監(jiān)測(cè)