
為了減少液氦消耗,液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當泵被預抽到10-6帕壓力時灌入液氮和液氦,氣體凝結在4.2K的工作冷板上。經預抽使氦氫分壓到10-12帕數量級,故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕,液氦溫度可降到2.3K,則可得到更低的極限壓力。
中國真空設備制造行業近年來無論是規模、品種還是技術水平都已取得了長足的進步,但整個行業與國外同行業相比,還仍然存在較大差距。

主要表現在:一是企業規模仍然偏小,全國散布著數百家生產企業,其中有很大部分都是在以往國有企業中分散出來的家族式或朋友之間股份合作式小微企業,整體實力偏弱;二是大部分企業研發投入少,沒有設立真正的研發部門,基本處于接單—設計—生產的簡單模式,導致在產品創新等方面遠遠落后于國外同行,產品同質化現象嚴重,gd產品市場基本被國外同行壟斷。

吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力,用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。一般說來,泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時,水的蒸氣壓已低于10-8帕。