為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當泵被預(yù)抽到10-6帕壓力時灌入液氮和液氦，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到10-12帕數(shù)量級，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。

中國真空設(shè)備制造行業(yè)近年來無論是規(guī)模、品種還是技術(shù)水平都已取得了長足的進步,但整個行業(yè)與國外同行業(yè)相比,還仍然存在較大差距。

主要表現(xiàn)在：一是企業(yè)規(guī)模仍然偏小,全國散布著數(shù)百家生產(chǎn)企業(yè),其中有很大部分都是在以往國有企業(yè)中分散出來的家族式或朋友之間股份合作式小微企業(yè),整體實力偏弱；二是大部分企業(yè)研發(fā)投入少,沒有設(shè)立真正的研發(fā)部門,基本處于接單—設(shè)計—生產(chǎn)的簡單模式,導(dǎo)致在產(chǎn)品創(chuàng)新等方面遠遠落后于國外同行,產(chǎn)品同質(zhì)化現(xiàn)象嚴重,gd產(chǎn)品市場基本被國外同行壟斷。

吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。