低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (10-8厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。

近年來，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。

目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。

沈陽諾思真空技術(shù)有限公司（原沈陽天成真空技術(shù)有限責(zé)任公司）成立于2012年，是以超高真空技術(shù)為基礎(chǔ)、從事各種真空應(yīng)用設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的技術(shù)型企業(yè)。

低油泵的熱負(fù)載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結(jié)熱與氣體種類有關(guān)，對于80K、133.322帕·升的氮?dú)饫淠?0K冷板上的凝結(jié)熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。