橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

美國Woollam公司的主要產品有M一44/M一88和VASE兩類。

  M一44/M一88屬于多波長回轉檢偏器(R八E)型橢偏儀，但是在起偏器前沒有單色儀，而是偏振的光從樣品表面反射，通過回轉檢偏器，經過色散到達硅光二極管列陣上，它是44或88個波長同時進行測量。這種儀器最初用于在線檢測，希望具有快速的數據采集，但是也可以作為若干固定入射角的線外測量(實驗室)用的光譜橢偏測量儀器使用。

之所以命名為橢圓偏振，是因為一般大部分的極化多是橢圓的。此技術已發展近百年，現在已有許多標準化的應用。然而，橢圓偏振技術對于在其他學科如生物學和醫學領域引起研究人員的興趣，并帶來新的挑戰。例如以此測量不穩定的液體表面和顯微成像。1 基本原理 2 實驗細節 2.1 實驗裝置 2.2 數據搜集 2.3 數據分析 3 定義 3.1 單波長 與 光譜 橢圓偏振技術 3.2 標準 與 廣義 橢圓偏振理論 (非等向性) 3.3 瓊斯矩陣 與 穆勒矩陣 型式 （去偏極化） 4 進階實驗方法 4.1 橢圓偏振成像 4.2 原位橢圓偏振 4.3 橢圓偏振孔隙測定 4.4 磁光廣義橢圓偏振 5 優勢