精密氣浮臺高低溫真空探針臺
隔振平臺由鋼質(zhì)蜂巢內(nèi)核、頂板及底板組成，在降低重量的前提下提供了足夠的硬度。光學(xué)隔振平臺頂板為高導(dǎo)磁性不銹鋼材料，底板為碳鋼板，四周側(cè)板內(nèi)層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板
適用于光通訊，電子制造，醫(yī)療器械，科研院校，顯微鏡，光路測試，光學(xué)測量，激光干涉，激光掃描，光譜實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域運(yùn)用（對磁場較高要求，百級靜音間均可滿足使用要求）
精密氣浮臺高低溫真空探針臺
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真空腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側(cè)開
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加熱臺材質(zhì)
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304不銹鋼
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內(nèi)腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺間距
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75mm
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加熱臺溫度
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﹣196~350℃
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加熱臺溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進(jìn)氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號接頭
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SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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探針數(shù)量
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4探針
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探針材質(zhì)
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動(dòng)平臺
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X軸移動(dòng)行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡
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物鏡倍數(shù)
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機(jī)
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調(diào)光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數(shù)
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19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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