桌面式高溫蒸鍍儀
小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發容器中待蒸發材料的方法，以使原子或分子蒸發并從表面逸出以形成蒸氣流，進入基材或基材表面，然后凝結成固體膜。
小型蒸鍍儀包括以下基本過程：
（1）加熱蒸發過程：包括從冷凝相變為氣相的過程，并且每種蒸發物質在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。
（2）氣態原子或分子在蒸發源和基質之間的傳輸，即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。
（3）蒸發的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即，蒸發，冷凝，成核，成核生長，形成連續的膜。由于基材的溫度遠低于蒸發源的溫度，因此氣態分子將直接經歷從基材表面上的氣態到固態的相變過程。
特點
● 全自動抽氣系統
● 旋轉樣品臺
● 菜單驅動式“用戶”鍵盤輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制
以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
桌面式高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
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控制方式
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7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
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加熱方式
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數字式功率調整器
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1200W
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輸出電壓電流
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電壓≤12V 電流≤120A
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真空度
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機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
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樣品臺
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可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
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樣品臺轉速
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8轉/分鐘
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樣品蒸發源調節距離
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70-140mm
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蒸發溫度調節
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≤1800℃
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支持蒸發坩堝類型
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鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩
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預留真空接口
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KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
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可選配擴展
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機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）
數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）
分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）
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