等離子體清洗的機(jī)理:
1、什么是等離子體
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在,如太陽(yáng)表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。
等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;活躍狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應(yīng)過(guò)程中生成的紫外線;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
2、等離子體清洗的機(jī)理
由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。
反應(yīng)機(jī)理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
等離子清洗機(jī) 鄭州 科探KT-S2DQX
小型等離子清洗機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn), 與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、可以更靈活地操作,簡(jiǎn)便地改變處理 氣體的種類和處理程序。
2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成傷害。
3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,容積為2升。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉(cāng)門有觀察窗,可直觀物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等
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