大功率濺射儀，桌面式設計，觸摸屏控制，石英＋不銹鋼腔體，濺射距離可調，自動電動擋板可保護樣品和清洗靶材。
離子鍍膜技術是PVD技術的一種，是指在PVD沉積過程中，被鍍材料形成金屬或者非金屬等離子體（如Ti離子，N離子），等離子體在偏壓電場的作用下，沉積在工件表面上。由于離子鍍過程中，離子的能量更強，離子繞射性更好，膜層的結合力更好，膜層致密性也更好，膜層性能更好。
離子鍍膜技術的應用非常廣泛，常見的有：裝飾性鍍膜，工具模具硬質鍍膜以及各種功能膜層。
大功率濺射儀技術參數；
|
控制方式
|
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
|
|
濺射電源
|
直流濺射電源
|
|
鍍膜功能
|
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
|
|
功率
|
≤1000W
|
|
輸出電壓電流
|
電壓≤1000V 電流≤1A
|
|
真空
|
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa
|
|
濺射真空
|
≤30Pa
|
|
擋板類型
|
電控
|
|
真空腔室
|
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
|
|
樣品臺
|
可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
|
|
樣品臺轉速
|
8轉/分鐘
|
|
樣品濺射源調節距離
|
40-105mm
|
|
真空測量
|
皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
|
|
預留真空接口
|
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
|
廣告
