2L小型等離子清洗機,石英腔體潔凈度高,前面留有直徑50mm觀察窗,觸摸屏控制人機界面。
等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為等離子態;氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。
1、可以更靈活地操作,簡便地改變處理,氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任,何傷害。
3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
2L小型等離子清洗機KT-S2DQX
供電電源
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AC220V(AC110V可選)
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工作電流
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整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
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射頻電源功率
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150W
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射頻頻率
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13.56MHz
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頻率偏移量
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<0.2MHz
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特性阻抗
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50歐姆,手動匹配
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耦合方式
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電容耦合
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真空度
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≤100Pa
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腔體材質
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高純石英
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腔體容積
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2L(內徑110MMX深度220MM)
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觀察窗內徑
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Φ65
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氣體流量
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10—100ml/min(其他量程可選)
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過程控制
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過程手動控制
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清洗時間
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手動開關
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開蓋方式
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鉸鏈側開式法蘭
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外形尺寸
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400x380x360mm
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重量
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23Kg
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真空室溫度
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小于65°C
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冷卻方式
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強制風冷
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標配
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KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。
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