中型真空高低溫探針臺，體型平板大小，功能齊全，帶高低溫（-196℃到400℃），探針尖10μm。
模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進行升級。可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進行現(xiàn)場升級。增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。
中型真空高低溫探針臺參數(shù)
|
真空腔體
|
|
類型
|
加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
|
|
腔體材質(zhì)
|
304不銹鋼
|
|
腔體內(nèi)尺寸
|
φ90x40mm
|
|
腔體上視窗尺寸
|
Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
|
|
腔體抽氣口
|
KF16
|
|
腔體進氣口
|
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
|
|
腔體出氣口
|
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
|
|
腔體正壓
|
≤0.05MPa
|
|
腔體真空度
|
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
|
|
樣品臺
|
|
樣品臺材質(zhì)
|
304不銹鋼
|
|
樣品臺尺寸
|
26X26mm
|
|
樣品臺-視窗 距離
|
30mm（可選凹視窗間距15mm）
|
|
樣品臺測溫傳感器
|
A 級PT100鉑電阻
|
|
樣品臺溫度
|
室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）
|
|
樣品臺測溫誤差
|
±0.2℃
|
|
樣品臺變溫速率
|
高溫10℃/min 低溫5℃/min 最，大值
|
|
溫控儀
|
|
溫度顯示
|
7寸人機界面
|
|
溫控類型
|
標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
|
|
溫度分辨率
|
0.1℃
|
|
溫控精度
|
±0.5℃
|
|
溫度信號輸入類型
|
PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
|
|
溫控輸出
|
直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
|
|
輔助功能
|
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
|
|
探針
|
|
電信號接頭
|
配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
|
|
電學(xué)性能
|
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
|
|
探針數(shù)量
|
4探針（可定做6探針）
|
|
探針材質(zhì)
|
鍍金鎢針
|
|
探針尖
|
10μm
|
|
探針移動平臺
|
|
X軸移動行程
|
12mm ±6mm
|
|
X軸控制精度
|
≤5μm
|
|
Y軸移動行程
|
12mm ±6mm
|
|
Y軸控制精度
|
≤5μm
|
|
Z軸移動行程
|
12mm ±6mm
|
|
Z軸控制精度
|
≤5μm
|
|
數(shù)碼顯微鏡
|
|
顯微鏡類別
|
物鏡放大+電子放大
|
|
顯微鏡放大倍數(shù)
|
100倍
|
|
顯微鏡工作間距
|
50-150mm
|
|
相機分辨率
|
1080P 60幀
|
|
相機信號輸出
|
HDMI輸出+USB輸出
|
|
LED可調(diào)光源
|
LED光源
|
|
顯示屏
|
5寸 屏幕一體機
|
廣告
