高真空大型探針臺，采用304不銹鋼腔體，樣品臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直徑70mm，
預算及產品品質一直是困擾用戶的兩個難題。鄭科探推出的KT-Z160T-RL大型探針臺具有探針臂精度小于0.01mm，探針尖10μm，配有電子顯微鏡放大倍數19-135倍。20升液氮可連續使用30個小時。價格相對合理。
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高真空大型探針臺
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真空腔體
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腔體材質
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側開
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加熱臺材質
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304不銹鋼
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內腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺間距
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75mm
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加熱臺溫度
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﹣196~350℃
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加熱臺溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號接頭
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SMA轉BNC X 4
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電學性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
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探針數量
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4探針
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探針材質
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡
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物鏡倍數
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數
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19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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