小型真空高低溫探針臺，高低溫真空探針臺，高溫400℃低溫-196℃，10微米探針尖，移動滑塊精度≤0.01mm
高低溫真空探針臺，能夠為測試樣品提供高真空和極 . 端高溫/低溫的測試環境，非常適合各種半導體材料、芯片和電子元器件的無損測試，應用方向有：真空&極 . 端溫度條件下的芯片/MEMS/NEMS測試；寬溫區材料或器件的IV/CV特性測試；LD/LED/PD測試；光譜特性測試；霍爾效應測量；可變磁場環境中電磁輸運特性測試；微波射頻測試；瞬態光電流響應測試；拉曼-瞬態熒光壽命成像；電-光效應測試；超導測試試驗等。
產品特點
◆高真空度，真空度優于1×10-3 Pa
◆高精度溫控系統，自動冷媒流量控制，-196℃到400℃溫度區間內精，確控制樣品臺溫度
◆防輻射屏設計，保證樣品溫度均勻
◆兼容高倍率金相顯微鏡
◆采用液氮或氦氣壓縮機制冷
小型真空高低溫探針臺參數
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真空腔體
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類型
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加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
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腔體材質
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304不銹鋼
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腔體內尺寸
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φ90x40mm
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
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腔體抽氣口
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KF16
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腔體進氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體出氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺
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樣品臺材質
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304不銹鋼
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樣品臺尺寸
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26X26mm
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樣品臺-視窗 距離
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30mm（可選凹視窗間距15mm）
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樣品臺測溫傳感器
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A 級PT100鉑電阻
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樣品臺溫度
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室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）
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樣品臺測溫誤差
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±0.2℃
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樣品臺變溫速率
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高溫10℃/min 低溫5℃/min 最，大值
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機界面
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溫控類型
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標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號輸入類型
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PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
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輔助功能
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溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
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探針
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電信號接頭
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配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
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電學性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數量
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4探針（可定做6探針）
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探針材質
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鍍金鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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12mm ±6mm
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X軸控制精度
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≤5μm
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Y軸移動行程
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12mm ±6mm
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Y軸控制精度
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≤5μm
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Z軸移動行程
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12mm ±6mm
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Z軸控制精度
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≤5μm
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數碼顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡放大+電子放大
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顯微鏡放大倍數
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100倍
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顯微鏡工作間距
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50-150mm
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相機分辨率
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1080P 60幀
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相機信號輸出
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HDMI輸出+USB輸出
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LED可調光源
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LED光源
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顯示屏
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5寸 屏幕一體機
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