高精度大型真空探針臺(tái)，移動(dòng)滑塊精度0.01mm，探針尖10μm，鍍金鎢針，物鏡放大倍數(shù)19-135倍
-196℃到400℃(液氮)；
超高溫度分辨率；
低溫具有*穩(wěn)定性
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
高精度大型真空探針臺(tái)
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真空腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開(kāi)啟
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鉸鏈側(cè)開(kāi)
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加熱臺(tái)材質(zhì)
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304不銹鋼
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內(nèi)腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺(tái)尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺(tái)間距
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75mm
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加熱臺(tái)溫度
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﹣196~350℃
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加熱臺(tái)溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進(jìn)氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號(hào)接頭
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SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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探針數(shù)量
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4探針
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探針材質(zhì)
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類(lèi)別
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物鏡
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物鏡倍數(shù)
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機(jī)
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調(diào)光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數(shù)
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19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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