探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試

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鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料創新型企業，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室及*校，科探儀器已經成為老師同學歡迎和信任的品牌之一公司以科技創新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！。目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐、CVD供氣系統、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等，主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

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探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測

真空腔體
腔體材質	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側開
加熱臺材質	304不銹鋼
內腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	35-350℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉BNC X 4
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
探針數量	4探針
探針材質	鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

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