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PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中
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PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中 相關(guān)信息由 鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中 的信息,請點擊 http://www.zgmflm.cn/b2b/zztk001.html 查看 鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。

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鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實驗室  及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師  同學(xué)歡迎和信任的品牌之一               公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會為宗旨,積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項,為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師  同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強(qiáng)有力的支持!。             目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
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PECVD簡介

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

KT-PE150S  性能參數(shù)

型號

KT-PE150S

KT-PE500Z

13.56MHz±0.005%

出范

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

5W

射功

40W

出接

7/16,female  50 Ω

穩(wěn)定度

5W

匹配方式

手動調(diào)節(jié)匹配

500W自動匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

30Pa

50/60Hz 220v±10%

機(jī)

70%

強(qiáng)制風(fēng)冷

支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應(yīng)區(qū)

210mm

機(jī)

48KG

機(jī):H x W x D(mm)

600 x 600x 1100

鄭重聲明:產(chǎn)品 【PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中】由 鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫www.zgmflm.cn)證實,請讀者僅作參考,并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請你提供相關(guān)證明及申請并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會盡快處理。
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