定義
國家標準GB7665-87對傳感器下的定義是:“能感受規定的被測量件并按照一定的規律(數學函數法則)轉換成可用信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉換元件組成”。中國物聯網校企聯盟認為,傳感器的存在和發展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來?!薄皞鞲衅鳌痹谛马f式大詞典中定義為:“從一個系統接受功率,通常以另一種形式將功率送到第二個系統中的器件”。


傳感器技術發展的五大趨勢
三是微型化,MEMS傳感器研發異軍突起。隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟,MEMS傳感器將半導體加工工藝(如氧化、光刻、擴散、沉積和蝕刻等)引入傳感器的生產制造,實現了規模化生產,并為傳感器微型化發展提供了重要的技術支撐。近年來,日本、美國、歐盟等在半導體器件、微系統及微觀結構、速度測量、微系統加工方法/設備、麥克風/揚聲器、水平/測距/陀螺儀、光刻制版工藝和材料性質的測定/分析等技術領域取得了重要進展。目前,MEMS傳感器技術研發主要在以下幾個方向:(1)微型化的同時降低功耗;(2)提高精度;(3)實現MEMS傳感器的集成化及智慧化;(4)開發與光學、生物學等技術領域交叉融合的新型傳感器,如MOMES傳感器(與微光學結合)、生物化學傳感器(與生物技術、電化學結合)以及納米傳感器(與納米技術結合)。


傳感器技術發展的五大趨勢
四是集成化,多功能一體化傳感器受到廣泛關注。傳感器集成化bao括兩類:一種是同類型多個傳感器的集成,即同一功能的多個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列,組成線性傳感器(如CCD圖像傳感器)。另一種是多功能一體化,如幾種不同的敏感元器件制作在同一硅片上,制成集成化多功能傳感器,集成度高、體積小,容易實現補償和校正,是當前傳感器集成化發展的主要方向。如意法半導體提出把組合了多個傳感器的模塊作為傳感器中樞來提高產品功能;東芝公司已開發出晶圓級別的組合傳感器,并于今年3月發布能夠同時檢測脈搏、心電、體溫及身體活動等4種生命體征信息,并將數據無線發送至智能手機或平板電腦等的傳感器模塊“Silmee”。

