氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類(lèi)型:變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。動(dòng)量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。往?fù)式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱(chēng)為活塞式真空泵。旋片式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。
干式真空泵的應(yīng)用主要有以下幾個(gè)方面:低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝半導(dǎo)體刻蝕工藝,在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。除半導(dǎo)體工藝外某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛猓瑒t用一定型式的干式真空泵可以滿(mǎn)足要求。在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵。用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。

擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩?自?xún)艋瘮U(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
