干式真空泵的應用主要有以下幾個方面:低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝半導體刻蝕工藝,在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。除半導體工藝外某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
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分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:① 牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。③ 復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的一種復合式分子真空泵。
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真空泵因鑄造、加工缺陷,內應力及超負荷運行等原因經常導致部件出現裂紋或斷裂現象。常規的修復方法是采用焊接,但有的零件材質是鑄鐵、鋁合金、鈦合金,難以做焊接處理。還有一些易于發生的危險場合,更不易采用焊接修復方法。美嘉華技術是一種“冷焊”技術,可以避免熱應力變形,同時材料良好的附著力和抗壓、抗腐蝕等綜合性能,可以大限度地滿足各種設備部件的使用要求,從而在低成本的投入下有效保證生產。安全、方便、可靠。
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