我公司專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準(zhǔn)無油高真空系統(tǒng)，機(jī)架電控一體化設(shè)計，整體布局緊湊合理，充分考慮人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結(jié)構(gòu)相得益彰。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機(jī)EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。

小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD，臺式設(shè)計、軟件自動操控、，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史*悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖

技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：8轉(zhuǎn)/分鐘；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學(xué)監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；

-        襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

-        保護(hù)樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達(dá)到及時遮擋樣品效果；

技術(shù)支持&服務(wù)：

1. 技術(shù)支持：在合同簽訂之前，我們的專業(yè)工程師會在充分了解客戶需求的前提下，為客戶做出**的選型和方案設(shè)計，使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、性能用途、使用場合、注意事項(xiàng)等，以幫助客戶做出正確的選擇。

2. 安裝與培訓(xùn)：在產(chǎn)品使用前，我們會派專業(yè)工程師為您提供技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。

3. 產(chǎn)品質(zhì)保：我們對產(chǎn)品提供12個月的質(zhì)保期，在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負(fù)責(zé)賠償或免費(fèi)維修。（耗材和易損件除外）