手動小型高低溫探針臺
對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的漂移。
配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統相關位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節省大量寶貴的實驗時間。由于系統中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統 的漏電精度
手動小型高低溫探針臺
|
真空腔體
|
|
類型
|
高溫型室溫到350℃
|
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
|
|
腔體材質
|
304不銹鋼 6061鋁合金 可選
|
|
腔體內尺寸
|
127mmX57mmX20mm
|
|
腔體外尺寸
|
150mmX80mmX32mm
|
|
腔體重量
|
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG
|
|
腔體上視窗尺寸
|
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
|
|
腔體抽氣口
|
KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
|
|
腔體真空測量口
|
KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
|
|
腔體進氣口
|
6mm快擰 或 6mm快插
|
|
腔體冷卻方式
|
腔體水冷+上蓋氣冷
|
|
腔體水冷接口
|
|
|
腔體正壓
|
≤0.05MPa
|
|
腔體真空度
|
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
|
|
樣品臺
|
|
樣品臺材質
|
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
|
銀銅合金 純銀塊
|
|
樣品臺尺寸
|
26x26mm
|
|
樣品臺加熱方式
|
電阻加熱
|
電阻加熱 液氮制冷
|
|
樣品臺-視窗 距離
|
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
|
|
樣品臺測溫傳感器
|
PT100型熱電阻
|
|
樣品臺溫度
|
室溫到400℃
|
室溫到400℃ 室溫到-196℃
|
|
樣品臺測溫誤差
|
±0.5℃
|
|
樣品臺升溫速率
|
高溫100℃/min 低溫7℃/min
|
|
溫控儀
|
|
溫度顯示
|
7寸人機界面
|
|
溫控類型
|
標準PID溫控 +自整定
|
|
溫度分辨率
|
0.1℃
|
|
溫控精度
|
±0.5℃
|
|
溫度信號輸入類型
|
PT100 （可選K S B型熱電偶）
|
|
溫控輸出
|
直流線性電源加熱
|
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
|
|
輔助功能
|
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口
|
|
溫控器尺寸
|
32cmX170cmX380cm
|
|
溫控器重量
|
約5.6KG
|
|
探針
|
|
電信號接頭
|
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
|
|
電學性能
|
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
|
|
探針數量
|
4探針（可擴展5探針）
|
|
探針材質
|
鍍金鎢針 （其他材質可選）
|
|
探針尖
|
10μm
|
|
手動探針移動平臺
|
|
X軸移動行程
|
20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
|
|
X軸控制精度
|
≥500μm
|
|
R軸移動行程
|
120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
|
|
R軸控制精度
|
≥500μm
|
|
Z軸移動行程
|
2mm ±1mm
|
|
Z軸控制精度
|
≤50μm（需手動螺紋調節探針桿）
|
廣告
