桌面小型離子濺射儀，
離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測結(jié)果得到了較為顯著的提高。
桌面小型離子濺射儀技術(shù)參數(shù)；
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控制方式
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7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
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濺射電源
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直流濺射電源
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1000W
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輸出電壓電流
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電壓≤1000V 電流≤1A
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真空
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機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa
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濺射真空
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≤30Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
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樣品臺
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可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
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樣品臺轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
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40-105mm
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真空測量
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皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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