工業機器人綜合了機械工程、電子工程、計算機技術、自動控制及人工智能等多種新的科學研究成果，是機電一體化技術的典型表。隨著科學技術的不斷發展，人們對機器人的工作能力提出了更高的要求，不僅要求機器人的外形美觀、操作簡單，而且具有一定的穩定性、靈活性和開放性。

我國的工業機器人發展的歷史已經有 20 多年，從“七五”科技攻關開始，正式列入國家計劃，在國家的組織和支持下，通過“七五” 、“八五”科技攻關，不僅在機器人的基礎理論和關鍵技術方面取得重大突破，而且在工業機器人整機方面，己經陸續掌握了噴漆、弧焊、點焊、裝配和搬運等不同用途、典型的工業機器人整機技術，并成功的應用于生產，掌握了相關的應用工程知識。

在發達國家中，工業機器人自動化生產線成套設備已成為自動化裝備的主流及未來的發展方向。

國外汽車行業、電子電器行業、工程機械等行業已經大量使用工業機器人自動化生產線，以保證產品質量，提高生產效率，同時避免了大量的工傷事故。

全球諸多國家近半個世紀的工業機器人的使用實踐表明，工業機器人的普及是實現自動化生產，提高社會生產效率，推動企業和社會生產力發展的有效手段。機器人技術是具有前瞻性、戰略性的高技術領域。

國際電氣電子工程師協會IEEE的科學家在對未來科技發展方向進行預測中提出了4個重點發展方向，機器人技術就是其中之一。

潔凈機器人潔凈機器人是一種在潔凈環境中使用的工業機器人。

隨著生產技術水平不斷提高，其對生產環境的要求也日益苛刻，很多現工業產品生產都要求在潔凈環境進行，潔凈機器人是潔凈環境下生產需要的關鍵設備。

關鍵技術bao括：

(1)潔凈潤滑技術：通過采用負壓抑塵結構和非揮發性潤滑脂，實現對環境無顆粒污染，滿足潔凈要求。

(2)高速平穩控制技術：通過軌跡優化和提高關節伺fu性能，實現潔凈搬運的平穩性。

(3)控制器的小型化技術：根據潔凈室建造和運營成本高，通過控制器小型化技術減小潔凈機器人的占用空間。

(4)晶圓檢測技術：通過光學傳感器，能夠通過機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。