潔凈機器人潔凈機器人是一種在潔凈環境中使用的工業機器人。

隨著生產技術水平不斷提高，其對生產環境的要求也日益苛刻，很多現工業產品生產都要求在潔凈環境進行，潔凈機器人是潔凈環境下生產需要的關鍵設備。

關鍵技術bao括：

(1)潔凈潤滑技術：通過采用負壓抑塵結構和非揮發性潤滑脂，實現對環境無顆粒污染，滿足潔凈要求。

(2)高速平穩控制技術：通過軌跡優化和提高關節伺fu性能，實現潔凈搬運的平穩性。

(3)控制器的小型化技術：根據潔凈室建造和運營成本高，通過控制器小型化技術減小潔凈機器人的占用空間。

(4)晶圓檢測技術：通過光學傳感器，能夠通過機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。

示教輸入型的示教方法有兩種：

一種是由操作者用手動控制器，將指令信號傳給驅動系統，使執行機構按要求的動作順序和運動軌跡操演一遍；

另一種是由操作者直接領動執行機構，按要求的動作順序和運動軌跡操演一遍。

在示教過程的同時，工作程序的信息即自動存入程序存儲器中在機器人自動工作時，控制系統從程序存儲器中檢出相應信息，將指令信號傳給驅動機構，使執行機構再現示教的各種動作。示教輸入程序的工業機器人稱為示教再現型工業機器人。