干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變容真空泵。液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
水環(huán)泵的有點：結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。結構緊湊，泵的轉數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。
干式真空泵的應用主要有以下幾個方面：低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝半導體刻蝕工藝，在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。除半導體工藝外某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
